[一]、工艺系统几何精度
零部件加工过程中，需要机床、刀具、夹具及各个零部件之间的配合，形成连续运转系统，即工艺系统。在加工原理、调整和刀具等误差的影响下，该系统的计划精度会受到的影响，这部分影响因素中，加工原理误差能产生的危害，由于零部件加工过程中，不同形状的刀具难以根据规定的路线运作，会有的误差产生。如数控铣床所具备的直线插补功能，在平面上对一段曲线进行加工，就通过多个较短的直线运行构成与要求近似的曲线。
平面度误差是检验平台的主要精度指标。检验平板平面度误差的测量，应在如下条件下进行。1)平板不受负荷。2)安装或安装稳妥。3)环境要避风、避热、清洁。4)平板与测量仪与环境达到温度平衡，禁止温度变化。
[二]、平面研具的设计
平面研具有研磨平板和研磨圆盘。研磨平板多制造成易于获得平面精度的正方形。规格为200mm*200mm、300mm*300mm、400mm*400mm。研磨盘为机用研具，环宽视工件和研磨轨迹而定，一般为工件长度的0.8~1.2倍。湿研研具常在平台上加工出相隔15~20mm、相交成90°或60°的沟槽，槽宽为1~3mm，槽深为1~2mm。圆盘研具表面加工出螺旋槽，其螺旋方向应使研磨盘旋转时，研磨液向内循环移动，与离心力抵消，防止研磨液在离心力作用下甩出，以使研磨液充分利用。
如用研磨膏时，应采用阿基米德螺旋槽为好。
